成功案例 
龍門單臂自動超聲波清洗機，藍寶石基片清洗機
清洗工藝:
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序 號 |
工序方法 |
清洗方式 |
清洗時間 |
清洗液 |
加熱功率 |
過濾 |
進水 |
排水 |
缸蓋 |
拋動 |
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1 |
進料 |
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2 |
超聲波清洗 |
120KHZ / 2KW |
5~10min |
清洗劑 |
6KW |
有 |
自動 |
手動 |
/ |
有 |
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3 |
噴淋漂洗 |
噴淋 |
5~10min |
純水 |
6KW |
有 |
自動 |
手動 |
有 |
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4 |
浸泡出料 |
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3.1進料→超聲波漂洗(120Khz)→噴淋漂洗→浸泡出料
3.2 清洗目的：去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑
3.3清洗介質：水+脫脂劑
3.4清洗對象：晶圓
3.5 清洗能力：5-10min可清洗450片晶圓，即18只花籃。
用戶已將晶園擺放在花籃內，花籃規格為：70×125×70mm,每個花籃裝載25片晶圓。
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