成功案例 
設(shè)備型號(hào)：FWA-850TEK
清洗對(duì)象：集成電路芯片
使用廠家：愛(ài)普生精密電子 （蘇州）有限公司
FWA-850TEK型清洗機(jī)采用流行環(huán)保水基清洗工藝，具有如下優(yōu)點(diǎn)。
（1） 設(shè)計(jì)先進(jìn)、合理,充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求；
（2） 獨(dú)特的鋸齒狀四周溢流，清洗區(qū)液體干凈，無(wú)二次污染；
（3） 采用全封閉式結(jié)構(gòu)，運(yùn)行部件設(shè)計(jì)充分考慮防止污染；
（4） 超聲波震動(dòng)板懸空式安裝配合槽底傾斜式設(shè)計(jì)，槽體清洗清理方便快捷；
（5） 清洗過(guò)程中超聲波+拋動(dòng)輔助，有效提高清洗效率；
（6） 精巧的等工位移載結(jié)構(gòu)能最大限度地減少輔助運(yùn)行時(shí)間，保正工藝參數(shù)實(shí)施的準(zhǔn)確性；
（7） 多臂機(jī)械手提升、橫移均采用導(dǎo)軌導(dǎo)柱導(dǎo)向，定位準(zhǔn)確、運(yùn)行五平穩(wěn)，流暢；
（8） 升降裝置配有防壓機(jī)構(gòu)，壓籃故障自動(dòng)停機(jī)并報(bào)警，使用安全無(wú)憂(yōu)；
工作機(jī)理：
待清洗工件放入料框內(nèi)，由人工將料框放上入料口，多臂機(jī)械臂按PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)工位；完成對(duì)工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺(tái)出料。多臂機(jī)械手由氣缸橫向驅(qū)動(dòng)，直線(xiàn)滑軌導(dǎo)向；上下提升由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，直線(xiàn)導(dǎo)軸導(dǎo)向；采用觸摸屏操作系統(tǒng),有手動(dòng)和自動(dòng)切換開(kāi)關(guān)及有關(guān)操作按鈕，能對(duì)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程實(shí)行控制。
清洗工藝流程：
|
序 |
工藝名稱(chēng) |
時(shí)間(min) |
介質(zhì) |
過(guò)濾 方式 |
超聲功率 |
超聲頻率 |
使用 溫度 |
|
01 |
超聲清洗 |
5-8 |
堿洗劑 |
循環(huán) |
1200W |
40Khz |
60±5℃ |
|
02 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1200W |
40Khz |
常溫 |
|
03 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1200W |
40Khz |
常溫 |
|
04 |
超聲清洗 |
5-8 |
酸洗劑 |
循環(huán) |
1000W |
80Khz |
60±5℃ |
|
05 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1000W |
80Khz |
常溫 |
|
06 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1000W |
120Khz |
80±5℃ |
|
07 |
吸引干燥 |
5-8 |
熱風(fēng) |
循環(huán) |
- |
|
125±5℃ |
|
08 |
真空干燥 |
5-8 |
真空 |
抽氣 |
- |
- |
80±5℃ |
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