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    設備名稱:真空干燥式全自動超聲波清洗機

    設備型號:FWA-850TEK
    清洗對象:集成電路芯片
    使用廠家:愛普生精密電子 (蘇州)有限公司

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    詳細參數 Parameter

    FWA-850TEK型清洗機采用流行環保水基清洗工藝,具有如下優點。

    (1)  設計先進、合理,充分考慮了環保和節能的要求;

    (2)  獨特的鋸齒狀四周溢流,清洗區液體干凈,無二次污染;

    (3)  采用全封閉式結構,運行部件設計充分考慮防止污染;

    (4)  超聲波震動板懸空式安裝配合槽底傾斜式設計,槽體清洗清理方便快捷;

    (5)  清洗過程中超聲波+拋動輔助,有效提高清洗效率;

    (6)  精巧的等工位移載結構能最大限度地減少輔助運行時間,保正工藝參數實施的準確性;

    (7)  多臂機械手提升、橫移均采用導軌導柱導向,定位準確、運行五平穩,流暢;

    (8)  升降裝置配有防壓機構,壓籃故障自動停機并報警,使用安全無憂;

     工作機理:

    待清洗工件放入料框內,由人工將料框放上入料口,多臂機械臂按PLC指定的程序將料框搬送到相應工位;完成對工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺出料。多臂機械手由氣缸橫向驅動,直線滑軌導向;上下提升由馬達驅動,直線導軸導向;采用觸摸屏操作系統,有手動和自動切換開關及有關操作按鈕,能對整個運行過程實行控制。

    清洗工藝流程:


    工藝名稱

    時間(min)

    介質

    過濾

    方式

    超聲功率

    超聲頻率

    使用

    溫度

    01

    超聲清洗

    5-8

    堿洗劑

    循環

    1200W

    40Khz

    60±5

    02

    超聲清洗

    5-8

    純水

    自循環

    1200W

    40Khz

    常溫

    03

    超聲清洗

    5-8

    純水

    自循環

    1200W

    40Khz

    常溫

    04

    超聲清洗

    5-8

    酸洗劑

    循環

    1000W

    80Khz

    60±5

    05

    超聲清洗

    5-8

    純水

    自循環

    1000W

    80Khz

    常溫

    06

    超聲清洗

    5-8

    純水

    自循環

    1000W

    120Khz

    80±5

    07

    吸引干燥

    5-8

    熱風

    循環

    -

     

    125±5

    08

    真空干燥

    5-8

    真空

    抽氣

    -

    -

    80±5


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